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long8:合肥领航微系统集成有限公司申请基于压电MEMS结构的芯片制备工艺专利在MEMS反射镜或振动台中起到提供高强度支撑、传递残余应力的作用

发布日期: 2024-12-12 阅读量: 作者: 小编
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